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Valvola del vuoto

Valvola del vuoto

Le valvole per vuoto sono componenti-progettati con precisione, fondamentali per il controllo e l'isolamento del flusso di gas all'interno dei sistemi per vuoto, che funzionano da ambienti con vuoto spinto a ambienti con vuoto ultra-alto (UHV). Queste valvole sono progettate per mantenere l'integrità del sistema offrendo prestazioni di tenuta eccezionali, elevata conduttanza e degassamento minimo. Svolgono un ruolo fondamentale in un'ampia gamma di applicazioni industriali e scientifiche avanzate, tra cui la produzione di semiconduttori, rivestimenti a film sottile-, acceleratori di particelle e strumentazione analitica. Una corretta selezione, considerando l'intervallo di pressione, il metodo di attuazione e la tecnologia di tenuta, è fondamentale per garantire la stabilità del processo, il controllo della contaminazione e la sicurezza operativa.

Caratteristiche del prodotto e vantaggi competitivi

 

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Portafoglio completo di valvole per ogni funzione: Offriamo una gamma completa di tipi di valvole per vuoto per soddisfare diversi requisiti di sistema. Ciò include valvole a saracinesca per l'isolamento ad alta-conduttanza nei sistemi UHV, valvole ad angolo per cambi efficienti della direzione del flusso in spazi compatti, valvole a farfalla per un rapido isolamento in condotti di grandi dimensioni e valvole di tenuta di precisione per l'introduzione controllata del gas. Ciò garantisce di trovare la valvola perfetta per le funzioni di isolamento, controllo o sfiato.

 

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Tecnologie di tenuta avanzate per la massima integrità: le nostre valvole utilizzano soluzioni di tenuta-all'avanguardia-dell'-arte per raggiungere e mantenere il livello di vuoto richiesto. Per le applicazioni ad alto vuoto (HV), offriamo guarnizioni in elastomero di alta-qualità come Viton®. Per ambienti con ultra-vuoto spinto (UHV) e alte-temperature, forniamo design con tenuta a soffietto e guarnizioni interamente in metallo--che resistono a temperature di cottura-fino a 450 gradi e raggiungono tassi di perdita di elio inferiori a 1x10⁻¹⁰ mbar·L/s, garantendo zero contaminazione.

 

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Ottimizzato per un'elevata conduttanza e un degassamento minimo: la geometria interna delle nostre valvole è progettata meticolosamente per massimizzare la conduttanza, riducendo al minimo la resistenza al flusso e i tempi di inattività della pompa-. Tutte le superfici bagnate sono rifinite con una bassa rugosità (tipicamente Ra < 0,5 µm) e spesso elettrolucidate per ridurre drasticamente l'area superficiale e il degassamento, che è fondamentale per raggiungere e mantenere basse pressioni di base.

 

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Costruzione robusta con connessioni standardizzate: realizzate in acciaio inossidabile 304 o 316L, le nostre valvole offrono un'eccellente resistenza alla corrosione e durata. Sono dotati di flange per vuoto standardizzate come ISO-KF, ISO-F e CF (ConFlat), garantendo un'integrazione semplice e a prova di perdite-nel sistema esistente e garantendo l'intercambiabilità.

 

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Opzioni di attuazione flessibili e affidabili: per adattarsi a vari livelli di automazione e controllo, le nostre valvole sono disponibili con attuazione manuale, pneumatica ed elettrica. Gli attuatori pneumatici garantiscono un funzionamento rapido e-a prova di guasto, mentre gli attuatori elettrici consentono un controllo preciso e un'integrazione perfetta con PLC e sistemi SCADA per processi completamente automatizzati.

 

 

Specifiche tipiche

 

Intervallo di pressione: da 10⁵ a 10⁻¹⁰ mbar (da atmosfera a UHV)

Tipi di valvole: valvole a saracinesca, ad angolo, a farfalla, a sfera, a pendolo, di tenuta, di ritegno e di sfiato

Tipi di connessione: ISO-KF, ISO-F, CF (ConFlat), ANSI

Materiale corpo: acciaio inossidabile 304, acciaio inossidabile 316L

Tipi di tenuta: Viton (FKM), Buna-N (NBR), metallo (rame, alluminio), tutto-soffietto metallico

Azionamento: leva/volantino manuale, pneumatico, elettrico

 

Il nostro servizio e supporto

 

Forniamo supporto end-to-end per garantire che i processi di vuoto vengano eseguiti senza problemi.

 

 

◎Consulenza tecnica di esperti: i nostri ingegneri assistono nella selezione delle valvole, fornendo grafici di conduttanza, indicazioni sulla compatibilità e soluzioni personalizzate per sfide applicative uniche.

◎Documentazione e certificazione complete: forniamo modelli CAD dettagliati, manuali di installazione e certificazioni dei materiali. Per i prodotti UHV, forniamo rapporti certificati sui test di tenuta dell'elio per ogni valvola.

◎Parti di ricambio globali e kit di manutenzione: manteniamo un inventario completo di parti di ricambio, inclusi kit di guarnizioni, gruppi di soffietti e attuatori, per ridurre al minimo i tempi di fermo del sistema e prolungare la durata della valvola.

 

Domande frequenti

 

D: Che tipo di valvola e guarnizione dovrei utilizzare per un'applicazione Ultra-High Vacuum (UHV)?

A: For UHV systems, all-metal sealed gate valves are the standard choice. They utilize copper or aluminum gaskets on CF flanges and feature metal-sealed stems (often with welded bellows) to eliminate elastomers. This construction can withstand high-temperature bake-out (typically >200 gradi) per ridurre al minimo il degassamento e raggiungere pressioni di base nell'intervallo 10⁻¹⁰ mbar e inferiori.

D: Perché una valvola a sfera potrebbe non essere adatta per applicazioni ad alto vuoto-?

R: Sebbene le valvole a sfera siano eccellenti per il vuoto medio e spinto grazie al loro funzionamento rapido, il loro design intrinseco può creare perdite virtuali. La cavità attorno alla sfera può intrappolare il gas che viene rilasciato lentamente nel sistema, limitando il massimo vuoto raggiungibile. Per le applicazioni ad alta tensione e UHV, sono preferibili valvole a saracinesca o a pendolo con un percorso del flusso più lineare.

D: Qual è la funzione di una valvola di perdita?

R: Una valvola di tenuta, o valvola di dosaggio del gas, non serve per l'isolamento ma per un dosaggio preciso. Viene utilizzato per introdurre un flusso di gas molto piccolo e controllato in una camera a vuoto. Ciò è essenziale per processi come lo sputtering o CVD (Chemical Vapor Deposition), dove deve essere mantenuta una specifica pressione parziale di un gas reattivo.

D: Quali sono i principali vantaggi di un attuatore pneumatico su una valvola del vuoto?

R: L'attuazione pneumatica offre tre vantaggi chiave: velocità (cicli di apertura/chiusura rapidi), sicurezza (può essere configurata per il funzionamento-safe per la chiusura in caso di perdita d'aria) e idoneità (può essere utilizzata in ambienti in cui le scintille elettriche rappresentano un pericolo). Sono ideali per i processi basati su cicli automatizzati-.

D: Come seleziono il tipo di flangia giusto per il mio sistema?

R: La scelta dipende dal campo di pressione e dalle dimensioni del sistema:

ISO-KF (QF): ideale per sistemi di piccole e medie dimensioni in alto vuoto (HV). Sono compatti e facili da montare.

ISO-F: utilizzato per diametri maggiori in applicazioni HV, imbullonato per una maggiore rigidità.

CF (ConFlat): lo standard per i sistemi UHV. Il design a tenuta metallica-(guarnizione in rame) consente la cottura e garantisce la massima integrità.

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